場發(fā)射掃描電鏡幾乎可以對(duì)所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理，陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料，如金、銀、鉑或鉻等。場發(fā)射掃描電鏡中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。
 

　　場發(fā)射掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如：通過采集二次電子、背散射電子得到有關(guān)物質(zhì)表面微觀形貌的信息，背散射電子衍射花樣得到晶體結(jié)構(gòu)信息，特征X-射線得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息，這些得到的都是接近樣品表面的信息。
 

　　場發(fā)射掃描電鏡制樣對(duì)樣品的厚度沒有特殊要求，可以采用切、磨、拋光或解理等方法將特定剖面呈現(xiàn)出來，從而轉(zhuǎn)化為可以觀察的表面。這樣的表面如果直接觀察，看到的只有表面加工損傷，一般要利用不同的化學(xué)溶液進(jìn)行擇優(yōu)腐蝕，才能產(chǎn)生有利于觀察的襯度。不過腐蝕會(huì)使樣品失去原結(jié)構(gòu)的部分真實(shí)情況，同時(shí)引入部分人為的干擾，對(duì)樣品中厚度極小的薄層來說，造成的誤差更大。
 

　　樣品的成分、加速電壓都影響相互作用區(qū)，一般情況下，相互作用區(qū)比束斑大，每種信號(hào)從固體發(fā)出的空間范圍，是決定掃描圖像空間分辨能力的重要因素。在材料領(lǐng)域的具體應(yīng)用：
 

　　1.材料表面形貌的觀察：通過掃描電子顯微鏡我們可以觀察材料的表面形貌。
 

　　2.斷口形貌的觀察：通過掃描電子顯微鏡我們可以進(jìn)行材料的斷口形貌的觀察，借助掃描電鏡分析斷口的破壞特征、零件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及缺陷,從而判斷零件損壞的原因。
 

　　3.微區(qū)化學(xué)成分分析：在樣品的處理過程中，有時(shí)需要提供包括形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu)或位向在內(nèi)的豐富資料，以便能夠更全面、客觀地進(jìn)行判斷分析。為此，相繼出現(xiàn)了掃描電子顯微鏡—電子探針多種分析功能的組合型儀器。掃描電子顯微鏡如配有X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件，可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息。